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沉积和蚀刻过程对轰击它们发生的表面的离子的能量有不同的依赖性，总的来看，氟碳沉积速率随着BRF power的增加而减小，因此，通过改变离子轰击能量，可将CF沉积转变为蚀刻先前沉积的CF类polymer及被其所覆盖的衬底材料（BRF升高后，CF类polymer并非停止. 实验考察了红外光谱法测定三氟化硼中硼同位素比的方法与条件．确定了最佳的稀释倍数，考察了仪器的稳定性，得到计算所需的校正因子．连续10天测量的结果RSD为5.28%，表明仪器具有较高的可靠性．该方法是一种快速、具有较高精度的测定硼同位素比的方法，通过优化与改进有可能应用到硼同位素化学交换精馏法分离的分离装置中，实现硼同位素比的原位测定．. 这项研究为气体吸附领域带来了新的见解，指出氮缺陷AlN纳米片在BF₃和ClF₃气体的吸附（解离）方面表现出良好的性能。

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三氟化硼，是一种无机化合物，化学式为BF3，为无色气体，溶于冷水、浓硫酸和多数有机溶剂，主要用作有机合成中的催化剂，也用于制造火箭的高能燃料。 从靶材表面喷射出来的物质以高密度的等离子体形式存在，它们沿着激光束轰击靶材的法线方向飞向衬底。 在飞向衬底的过程中逐渐冷却，并与氮气结合，在衬底上沉积形成AlN薄膜。 又称为氟化硼。 为无机化合物，无色气体，有窒息性，在空气中遇湿气立即水解。 分解时生成剧毒的氟化物烟雾。 氟硼酸根离子是非配位阴离子，且实验室中常以液态的三氟化硼乙醚合物作为三氟化硼的来源。 可以由三氧化二硼或硼酸盐与氟化氢反应制备。

三氟化硼是腐蚀性气体，特别在有水分时其腐蚀性更大。 所以，所有用气设备和装置在使用前必须经过加热烘烤抽真空的方法彻底清除系统中的水分。 对干燥的BF3可以使用碳钢、不锈钢、铜、铜合金、镍、蒙乃尔、铝、金和铂。

遇水产生有毒气体。 健康危害 急性中毒主要症状有干咳、气急、胸闷、胸部紧迫感；部分患者出现恶心、食欲减退、流涎；吸入量多时，有震颤及抽搐，亦可引起肺炎。